無(wú)油真空泵又稱干式真空泵是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)可以原汁原味的回收氣體。而有油真空泵像旋片泵是靠介質(zhì)油來(lái)工作，同樣的水環(huán)泵是靠水來(lái)工作（那么水就受到污染）。

一、有油真空泵

　　有油真空泵是通過(guò)油來(lái)密封，潤(rùn)滑，降溫，這個(gè)類型的真空泵可以接受一點(diǎn)水分，而無(wú)油真空泵由于葉片材質(zhì)多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨脹，損壞，但是無(wú)油真空泵用起來(lái)比較干凈，在一些環(huán)境要求比較高的地方可以使用。

二、無(wú)油真空泵

　　它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來(lái)，周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。